GROWTH STUDY OF Y-BA-CU-O ON BUFFER LAYERS AND DIFFERENT SUBSTRATES MADE BY ULTRASONIC SPRAY PYROLYSIS ( ESTUDIO DEL CRECIMIENTO DE Y-BA-CU-O SOBRE CAPAS BUFER Y DIFERENTES SUSTRATOS HECHOS POR ROCíO PIROLíTICO ULTRASóNICO )

摘要

Atomic Force Microscopy (AFM) was used to observe the growth stages of both buffer layers and Y-Ba-Cu-O films on three different substrates: Si (100) and MgO (100) for crystalline ones and fused silica for the amorphous type. In order to compare the benefits of buffer layers, YSZ was grown on the three different substrates and AFM topographies were made at each stage of growth: Bare substrate, YSZ films on bare substrates, Y-Ba-Cu-O/YSZ films and Y-Ba-Cu-O on bare substrates. An Ultrasonic Spray Pyrolysis system was used to deposit all the films and layers. Films grown on buffer layers present smoother surfaces than those grown on bare substrates. Se utilizó Microscopía de Fuerza Atómica (AFM) para observar por etapas el crecimiento de capas búfer y películas de Y-Ba-Cu-O sobre tres sustratos diferentes: Si (100) y MgO (100) como sustratos cristalinos y cuarzo como sustrato amorfo. Para comparar los beneficios de la capa búfer, se depositó YSZ sobre los tres sustratos mencionados y fueron caracterizados por topografía AFM en cada etapa del crecimiento: Sustratos, capa búfer de YSZ sobre el sustrato, películas de Y-Ba-Cu-O sobre YSZ en cada sustrato y películas de Y-Ba-Cu-O sobre cada uno de los sustratos. Las capas búfer de YSZ y las películas de Y-Ba-Cu-O se depositaron por medio de Rocío Pirolítico Ultrasónico. Las películas crecidas sobre las capas búfer presentan una superficie menos rugosa que aquellas crecidas sobre los sustratos sin capa búfer.