机译:用于低功率应用的新型电热致动侧向RF MEMS闩锁开关的设计和仿真
机译:存在最坏过程公差的结构解耦3自由度MEMS陀螺仪的设计和稳定性分析
机译:存在最坏过程公差的结构解耦3自由度MEMS陀螺仪的设计和稳定性分析
机译:具有鲁棒驱动模式的锚定多自由度MEMS陀螺仪
机译:陀螺仪和微镜设计使用垂直轴CMOS-MEMS驱动和传感。
机译:具有差分隧道磁阻传感结构的基于MEMS的陀螺仪的设计分析和仿真
机译:微型制造过程驱动的设计,有限公司分析和3 DOF驱动模式的系统建模和2-DOF感测模式热稳定的非谐振MEMS陀螺仪
机译:使用垂直轴CmOs-mEms驱动和传感的陀螺仪和微镜设计