激光干涉仪在机床定位精度测量中的不确定度

摘要

随着数控技术应用的日益发展和进步,激光干涉仪作为检测数控机床位置精度的主要工具,在大量厂家得到广泛应用。目前介绍激光干涉仪原理和检测方法方面的文章也有很多,但是对于其在测量位置精度时的测量不确定度还没有一个很详细的描述,特别是在常态下测量机床时的不确定度分析,还没有一篇描述很清晰的文章供实际工作中直接应用,往往只有理论上的推理。