激光干涉仪补偿机床定位精度的测量不确定度评定

摘要

随着机械加工业的日益发展，数控机床在机械加工业中的应用越来越广，优点是可偏程，适应不同零件的加工，自动件程度高，降低工人的劳动强度，数控机床一般都由X．Y．Z三轴步进电机通过丝杆驱动。由于丝杆机械间隙的存在。补偿定位精度之前一定要先进行反向间隙的补偿。机床定位精度的测量方法有量块组合法，步距规法和激光干涉仪法。激光干涉仪为最高效，精度最高的补偿方法，现就用美国光动公司的激光干涉仪测量定位精度的不确定度评定分析。