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A displacement measuring laser heterodyne interferometer with sub-Angstrom accuracy

机译：具有亚埃精度的位移测量激光外差干涉仪

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作者
Diaz, R. T.; Zhao, F.; Schmidtlin, E.;
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年度 2001
页码 1-1
总页数 1
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
DISPLACEMENT; HETERODYNING; INTERFEROMETERS; INTERFEROMETRY; LASER APPLICATIONS; METROLOGY; interferometry metrology nano-technology;

机译：移位;外差;干涉;干涉;激光应用; mETROLOGY;干涉测量计量纳米技术;

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