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孙宝银; 陈梦真; 朱樟震; 伊福廷;
中国科学院微电子中心;
中国科学院高能物理研究所;
镂空硅掩模; X射线; 深层光刻; 同步辐射;
机译:西伯利亚同步加速器和太赫兹辐射中心的深层X射线光刻掩模制造特征
机译:一种新型纳米通道制造,用于纳米流体应用,通过微图案化X射线掩模使用同步辐射辐射
机译:X射线束感应电流/微探针X射线荧光:基于同步辐射的X射线微探针技术,用于分析硅中金属杂质的重组活性和化学性质
机译:具有同步辐射的深层X射线光刻自支撑钽掩模
机译:使用同步辐射的X射线荧光光谱法及其在无人机环境传感中的应用。
机译:X射线光刻掩模计量学:透射电子在SEM中用于线宽测量
机译:同步辐射X射线光刻技术在生物医学光学传感器开发中的应用
机译:硅 - 硅直接键合的进展及其在同步辐射X射线光学中的应用
机译:X射线曝光设备,X射线曝光方法,X射线掩模,X射线镜,同步加速器辐射设备,同步加速器辐射方法和半导体器件
机译:X射线曝光设备,X射线曝光方法,X射线掩模,X射线反射镜,同步加速辐射器,同步加速辐射方法和半导体装置
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