中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室,北京 100029;
中国科学院微电子研究所高频高压器件与集成研发中心,北京 100029;
中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室,北京 100029;
中国科学院微电子研究所高频高压器件与集成研发中心,北京 100029;
中国科学院微电子研究所高频高压器件与集成研发中心,北京 100029;
中国科学院微电子研究所智能感知研发中心,北京 100029;
中国科学院微电子研究所智能感知研发中心,北京 100029;
中国科学院微电子研究所智能感知研发中心,北京 100029;
中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室,北京 100029;
中国科学院微电子研究所高频高压器件与集成研发中心,北京 100029;