掺Sb衬底外延片厚度测量及误差分析

摘要

通过对不同测试机台进行对比，找出了各个机台厚度测量的最优测试方案；通过对红外膜测量厚度波峰的研究，缩小了掺Sb衬底外延层厚度测量偏差。对生长工艺进行改善，增大了红外干涉峰的强度，提高了红外膜厚度测试效率！