利用扫描探针显微镜扫描V型纳米金刚石刀刃的方法

摘要

本文介绍了一种基于扫描探针显微镜技术的成像定位及扫描的方法,采用轻敲模式对具有纳米尺度量级的V型纳米金刚石刀刃表面形貌进行了测量,由于具有纳米量级的尺度,V型纳米金刚石刀刃样品无法在视野中成清晰的像,该方法采用了模糊定位的方法,克服了刀刃位置不易确定,测量不稳定的技术难点,能够得到质量较高的纳米金刚石刀刃的表面形貌,为具有纳米尺度量级的尖锐样品的检测提供了方法.