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樊尚春;
北京航空航天大学仪器学院测控与信息技术系,北京,100083;
硅微传感器; 热激励; 谐振式传感器; 压力传感器;
机译:热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究
机译:热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究(英文)
机译:谐振式压力传感器与无线连接的水位监控系统研究
机译:谐振式硅-硅接触式引入振动检测器中的实验性分形不稳定性带
机译:热分布对共晶钴硅合金微结构发展影响的表征
机译:基于硅MEMS技术的高温环境高一致性光纤法布里 - 珀罗压力传感器
机译:横向驱动的谐振式压力传感器,带有蚀刻硅双膜片和组合梁
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机译:基于多晶硅的压力传感器的交流激励
机译:激励使用多晶硅的压力传感器
机译:激励基于多晶硅的压阻式压力传感器
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