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樊尚春;
北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院测控技术与仪器系,北京,100083;
热激励; 谐振式传感器; 压力传感器; 硅微结构; 参数设计;
机译:热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究
机译:热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究(英文)
机译:谐振式压力传感器与无线连接的水位监控系统研究
机译:电磁激励硅氮化硅束谐振压力传感器的设计与建模
机译:热分布对共晶钴硅合金微结构发展影响的表征
机译:简化微结构光纤压力传感器的设计
机译:横向驱动的谐振式压力传感器,带有蚀刻硅双膜片和组合梁
机译:基于Q因子测量的高分辨率大动态范围谐振式压力传感器
机译:基于多晶硅的压力传感器的交流激励
机译:激励使用多晶硅的压力传感器
机译:激励基于多晶硅的压阻式压力传感器
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