微电子工业用的贵金属粉未之进展

摘要

1.序言贵金属粉末应用于微电子工业至今有近35年的历史,1974年在日本出现的微片混合电路,使微电子工业更是得到了突飞猛进的发展,同时对贵金属粉末也提出了更高要求。人们将可能日益精确地调节与严格控制它们的物理、化学、微观结构和电学方面的特性或将这些特性组合起来,使它的功能更为卓著。微电子工业用贵金属粉末指的是:银、铂、钯、金和二氧化钌粉。以粉末的特征可分为:黑色粉末、聚集粉末、分散粉末、光亮粉末和片状粉末。微电子工业在美国。