合肥工业大学仪器科学与光电工程学院;
合肥 230009;
中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室;
北京 100029;
中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室;
北京 100029;
中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室;
北京 100029;
中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室;
北京 100029;
中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室;
北京 100029;
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院;
合肥 230009;