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Ti-Si-N纳米超硬膜的研究进展

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摘要

随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高,Ti-Si-N膜以其独特的纳米复合结构、超硬性及其他优异的力学性能成为研究的热点.本文综述了Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺以及工艺参数对Ti-Si-N膜的微观结构与力学性能的影响.

著录项

来源
《新技术新工艺》 |2006年第8期|5-8|共4页
作者
徐晔; 蔡珣; 陈秋龙; 沈耀; 李刘合;
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作者单位

上海交通大学,先进热处理与表面改性工程技术研究中心,上海,200240;

上海交通大学,先进热处理与表面改性工程技术研究中心,上海,200240;

上海交通大学,先进热处理与表面改性工程技术研究中心,上海,200240;

上海交通大学,先进热处理与表面改性工程技术研究中心,上海,200240;

北京航空航天大学,机械设计与自动化学院材料加工与控制系,北京,100083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类复合材料;
关键词
Ti-Si-N膜; 纳米复合膜; 微观结构; 纳米硬度; 工艺参数;

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