NIST为低k膜制订韧性试验方法

摘要

国家标准和技术研究所（NIST）的研究人员已“修订”了一项熟知的测量材料性质的方法以规范低k膜的机械强度测量方法，以帮助器件制造厂家更好地识别内连电介质膜“候选”材料。作为衬底（例如Si）上部和器件中导电体与元件之间的绝缘膜，低k电介质层的使用在不断增加。