首页> 中文期刊> 《微细加工技术》 >电镀法制作活动微结构的牺牲层工艺

电镀法制作活动微结构的牺牲层工艺

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

报道了一种采用电镀方法制作活动微结构的牺牲层工艺,该牺牲层技术可用于微电子机械装置中活动部件的制作.利用电镀形成Zn牺牲层,结合微细加工技术中的LIGA工艺对该工艺进行了验证,制作出可活动的微齿轮结构,齿轮直径为250μm.

著录项

来源
《微细加工技术》 |2000年第2期|62-65|共4页
作者
陈大鹏; 刘刚; 田扬超; 胡一贯; 阚娅; 张新夷;
展开▼
作者单位

中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,合肥,230029;

中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,合肥,230029;

中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,合肥,230029;

中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,合肥,230029;

中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,合肥,230029;

中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,合肥,230029;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类一般自动化系统;
关键词
牺牲层; 电镀; 微细加工; LIGA技术;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 用氧化多孔硅作牺牲层制备悬空微结构 [J] . 宁瑾 ,刘忠立 ,刘焕章 . 功能材料与器件学报 . 2003,第3期
2. 微结构制备中选择性多孔硅牺牲层技术的研究 [J] . 周俊 ,王晓红 ,董良 . 微细加工技术 . 2002,第002期
3. 基于手工艺制作创新阅读推广的实践——以浙江工业大学图书馆系列手工艺制作活动为例 [J] . 李玲梅1 . 浙江高校图书情报工作 . 2019,第001期
4. 一种采用铜牺牲层去除负性光刻胶残胶的工艺方法 [J] . 丁飞 ,杨志峰 ,张帅 . 机电工程技术 . 2021,第007期
5. 采用光刻胶牺牲层技术改善薄膜电路制备工艺 [J] . 陈帅 ,赵文忠 ,赵志平 . 电子工艺技术 . 2019,第003期
6. 石墨粉电镀法镀锌工艺研究 [C] . 丁国芸 ,夏金童 ,李波 . 第八届全国新型炭材料学术研讨会 . 2007
7. 发动机喷嘴用仿形砂轮电镀法制备工艺及性能研究 [A] . 方亮 . 2018

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号