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反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究

         
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摘要

介绍的一种反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究.利用现有实验设备,通过多次实验摸索,找到了一条实现反磁悬浮涡流旋转微陀螺下定子合理的工艺路径,并进行了测试,测试显示定子结构完整正常.

著录项

  • 来源
    《微细加工技术》 |2008年第6期|45-47|共3页
  • 作者

    刘凯; 张卫平; 陈文元; 刘武; 李凯; 戴福彦;

  • 作者单位

    微米/纳米加工国防实验室,上海,200030;

    上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室;

    微米/纳米加工国防实验室,上海,200030;

    上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室;

    微米/纳米加工国防实验室,上海,200030;

    上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室;

    微米/纳米加工国防实验室,上海,200030;

    上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室;

    微米/纳米加工国防实验室,上海,200030;

    上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室;

    微米/纳米加工国防实验室,上海,200030;

    上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 半导体器件制造工艺及设备;
  • 关键词

    微陀螺; 反磁悬浮; 涡流旋转; 下定子工艺;

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