磁悬浮转子微陀螺中转子微加工方法的研究

摘要

微陀螺是微小卫星、微飞行器等装备中不可缺少的惯性器件 ,磁悬浮转子陀螺能克服机械支承和定位的摩擦 ,使之可以达到普通陀螺的精度要求。本文介绍了磁悬浮转子微陀螺的基本原理 ,根据产生电涡流、保持稳定悬浮和旋转的需求 ,对转子进行了设计 ,对比研究了溅射、蒸镀、冲压等三种加工微转子的方法 ,悬浮试验证明冲压铝箔法制备的转子能够满足微陀螺的要求。