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李秀杰;
太原理工大学,山西,太原,030024;
氧化锌薄膜; 射频磁控溅射; X衍射;
机译:脉冲电子沉积和射频磁控溅射沉积铝掺杂氧化锌薄膜作为透明导电氧化物制备Cu(In,Ga)Se-2基太阳能电池的比较研究
机译:使用射频和直流磁控溅射沉积技术沉积用于光学应用的铝掺杂氧化锌薄膜
机译:不同射频磁控溅射功率沉积镓和铝的镓和铝共掺杂氧化锌薄膜的物理性质
机译:共聚焦射频磁控溅射沉积沉积铟锡氧化物和铝掺杂氧化锌薄膜的表征
机译:沉积参数与射频磁控溅射沉积氧化锆薄膜性能之间的关系。
机译:射频直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的透明导电掺铝ZnO多晶薄膜的载流子输运和晶体学取向特征
机译:射频磁控溅射氧化锌薄膜电容性能
机译:射频磁控溅射电子辅助沉积立方氮化硼
机译:四级氧化锌薄膜,使用射频磁控溅射制造同一薄膜的方法以及包括该薄膜的电子设备
机译:用于溅射沉积源的磁性装置,磁控溅射沉积源以及利用磁控溅射沉积源在基板上沉积膜的方法
机译:圆柱形旋转磁控溅射阴极装置及利用射频辐射沉积材料的方法
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