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射频磁控溅射法制备氧化锌薄膜的研究

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采用射频磁控溅射技术,利用Zn靶,在玻璃衬底上制备ZnO薄膜.通过X射线衍射(XRD)仪、傅立叶红外光谱仪、紫外-可见光分光光度计UV-3600对ZnO薄膜进行表征,分析氧气流量对氧化锌薄膜的影响.结果表明:氧气流量其对氧化锌薄膜的结构影响显著.随着氧气流量的增加,氧化锌薄膜的结晶性逐渐变好且其中的缺陷减少.

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来源
《第十四届全国固体薄膜学术会议》|2014年|106-110|共5页
会议地点贵阳
作者
陈仁刚; 邓金祥; 崔敏; 孔乐; 陈亮; 苗一鸣; 庞天奇; 张紫佳;
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作者单位

中国电子学会;

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.21:TN304.055;
关键词
氧化锌薄膜; 射频磁控溅射法; 氧气流量; 微观结构; 结晶性;

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