光刻机工件台定位平台结构设计

摘要

cqvip:针对光刻机工件台易受到微小震动而引起图像偏差的问题,对工件台定位平台的结构进行了优化设计,同时改进了工作台的调节方式,对今后光刻机工件台的研究与改进具有良好的借鉴意义。