基于PQ法的光刻机工件台粗精控制系统设计

摘要

为提高步进扫描光刻机工件台控制系统的带宽,采用双输入单输出的粗精控制结构.精动机构实现高精度高响应速度的小行程运动,粗动机构实现低精度的慢速大行程运动.利用PQ法将双输入单输出系统分解为两个平行的单输入单输出系统,分别设计粗动控制器和精动控制器来调整粗动机构和精动机构对偏差信号不同频率分量的响应程度,最后设计一个闭环控制器以保证整个控制系统的稳定性和动态特性.S-曲线仿真说明在扫描过程中,系统可以保证扫描速度的平稳性并具有良好的动态特性;正弦信号仿真验证了粗动机构和精动机构对输入信号不同频率分量的响应效果.