光刻机工件台自转电机控制系统设计

摘要

双工件台是光刻机的重要部分,为了保证其曝光的准确性,提出一种基于FPGA和DSP的工件台自转电机的控制系统设计方案.详细介绍了控制系统的驱动电路、永磁同步电机执行机构和传感器等方面的设计.运动控制卡主要采用TI公司的TMS320C6414芯片和Altera公司的EP2S60F102014N可编程逻辑器件,并定义信号传输协议.通过实验验证,系统在稳定性、快速性以及准确性上都达到要求.