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祁继隆; 陈东旭; 王亚男; 周艳文;
辽宁科技大学 材料与冶金学院 辽宁 鞍山 114051;
类金刚石薄膜; 等离子体增强化学气相沉积; Raman光谱; 机械性能; 微观形貌;
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