公开/公告号US10227691B2
专利类型
公开/公告日2019-03-12
原文格式PDF
申请/专利权人 IONQUEST LLC;
申请/专利号US201615261197
申请日2016-09-09
分类号C23C14/35;H01J37/34;C23C14/34;H01L21/285;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532;H01J37/32;C23C14;C23C14/06;C23C14/14;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:14:42