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揣荣岩; 刘晓为; 霍明学; 宋明浩; 王喜莲; 潘慧艳;
哈尔滨工业大学MEMS中心;
多晶硅; 纳米薄膜; 压阻特性; 隧道效应; 应变系数;
机译:轻掺杂漏区中掺杂物浓度对N型金属诱导的横向结晶多晶硅薄膜晶体管电学性能的影响
机译:不同LDD掺杂浓度的栅极重叠轻掺杂漏极(GOLDD)多晶硅薄膜晶体管的电学特性分析
机译:电流诱导的不同温度下沉积的多晶硅纳米薄膜的再结晶及其对压阻灵敏度和温度系数的影响
机译:掺杂浓度对多晶硅纳米薄膜压阻温度特性的影响
机译:非均匀性对多晶硅硅薄膜(多晶硅,晶界,分布函数,掺杂曲线,TEM)中电阻率建模的影响。
机译:多孔多晶硅薄膜上Cr掺杂TiO2纳米粒子的光催化活性
机译:通过原位砷掺杂呈现高受体浓度的薄膜多晶硅CdTe太阳能电池的研究
机译:应变对氮化硅薄膜导热系数的影响
机译:利用AG纳米颗粒,由相同硅酸甘油酯构成的多晶硅纳米结构和包含多晶硅纳米晶的多晶硅薄膜电池制造多晶硅薄膜纳米结构的方法
机译:将掺杂元素引入硅层中的方法,多晶硅太阳能电池的制造方法,多晶硅薄膜晶体管的制造方法以及将掺杂元素引入硅层中的装置
机译:导电掺杂类金刚石纳米复合薄膜的制备方法和导电掺杂类金刚石纳米复合薄膜
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