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不同钝化介质层对AlGaN/GaN异质结二维电子气密度的影响

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摘要

试验用高分辨率X射线衍射仪(HRXRD)测定了不同介质层钝化后异质结势垒层AlGaN的附加应变,用范德堡霍尔效应测量法测定了不同介质层钝化后异质结二维电子气密度,发现AlN钝化层尽管给势垒层带来附加的压应变.但依然使二维电子气密度增大,借此讨论了钝化对势垒层表面态产生的影响,分析了钝化机制.

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来源
《南京工程学院学报（自然科学版）》 |2007年第2期|40-44|共5页
作者
陈国强; 徐峰;
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作者单位

南京工程学院基础部,江苏,南京,211167;

南京大学物理学系,江苏,南京,210093;

南京大学物理学系,江苏,南京,210093;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.2+6;
关键词
钝化; 应变; 表面态; 二维电子气密度;

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