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含氮体系CVD低压金刚石薄膜淀积条件

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摘要

根据非平衡热力学耦合模型理论首次计算得到了碳氢氮体系的金刚石生长的非平衡定态相图与近几年在国际上发表的该体系实验结果相符合，可以为今后的实验研究提供定量化的理论依据．根据理论相图讨论了系统压力和体系中氮的添加对金刚石薄膜淀积条件的影响．

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来源
《无机材料学报》 |1999年第1期|114-118|共5页
作者
刘志杰; 张卫; 张剑云; 万永中; 王季陶;
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作者单位

复旦大学电子工程系CVD研究室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类人造超硬度材料的生产;薄膜物理学;
关键词
金刚石; 相图; 化学气相淀积; 薄膜; 含氮体系;

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