TiO2氧敏元件的研究和发展概况

摘要

ＴｉＯ２材料作为氧传感器具有广泛的应用。本文介绍了ＴｉＯ２氧传感器的工作原理和制作过程中采用的三种工艺，即陶瓷烧结体，厚膜和薄膜技术。并对如何提高氧传感器的性能进行了探讨。