薄膜互连线形状参数对电迁移的影响

摘要

为了探究Au互连线的形状参数对互连线寿命的影响,在环境温度为150℃、加载电流为500 mA的试验条件下,使用恒温箱同时对多种不同形状的样品进行加速寿命试验.结果表明:在此试验条件下,不同形状参数的互连线的失效模式相同,且皆为电迁移导致互连线出现断路;互连线与电极连接处的圆弧半径越大,电迁移导致的失效现象出现的越晚,对应的薄膜互连线的寿命也越长.