柔性衬底上铁磁/反铁磁双层膜的磁性研究

摘要

目的:研究溅射在聚酰亚胺PI柔性衬底上铁磁/反铁磁Ni_(81)Fe_(19)/Fe_(50)Mn_(50)双层膜的交换偏置效应。方法:采用超高真空磁控溅射法在柔性衬底PI上制备Ni_(81)Fe_(19)/Fe_(50)Mn_(50)系列双层膜,将其退火后使用振动样品磁强计测试样品的场冷磁滞回线。结果:铁磁层厚度的增大使得柔性衬底上双层膜交换偏置场和矫顽力几乎呈现线性减小;当反铁磁层较薄时,未出现交换偏置,到达一定厚度后交换偏置场出现先增大后稳定的现象;当冷却场为零时未产生交换偏置场,随着冷却场的增大,交换偏置场在冷却场1000 Oe时达到最大值,随后冷却场继续增大,交换偏置场却出现下降的趋势。结论:柔性衬底上和硅片上生长的铁磁/反铁磁双层膜交换偏置场大小基本相同,柔性衬底可以显著增大薄膜的矫顽力。