衬底温度对形成CNx薄膜的影响

摘要

在不同的衬底温度下用射频溅射方法制备了氮化碳薄膜。系统地研究了氮化碳薄膜的电子结构和光学随温度的变化规律。用富里叶变化红外光谱和Ｘ光电子能谱对其化学结构及成分进行了分析。用透射紫外－可见－近红外（ＵＶ）光谱对其光学性质进行了评价。结果表明：薄膜中最大氮原子逍度为０．４。芯能级Ｃｌｓ和Ｎｌｓ的结合能产生了４．４１－０．３ｅＶ的能移。