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张卫杰; 陈金平; 于天君; 曾毅; 李嫕;
中国科学院理化技术研究所;
中国科学院大学;
单分子树脂; 光刻胶; 电子束光刻; 光致产酸剂;
机译:基于杯[4]间苯二甲烯衍生物,交联剂和光致产酸剂的新型三组分光刻胶
机译:用于化学增幅光刻胶的非离子型光致产酸剂的评估
机译:分子动力学模拟研究甲基丙烯酸酯型EUV光刻胶膜中光产酸剂的不均匀性
机译:用于化学增幅光刻胶的非离子型光致产酸剂:结构对光刻胶性能的影响
机译:通过电容技术测量光刻胶膜中的产酸动力学
机译:芳基环氧热固性树脂的光刻性能作为微光学的阴性光致抗蚀剂
机译:特别问题/最近微光刻表的光致抗蚀剂的趋势和未来。最近的碰盖光刻胶。
机译:碳单壁纳米管 - 电子受体分子用于提高太阳能驱动技术的TiO2光致激发效率。
机译:包括未来的芳族salt盐化合物新型光致产酸剂和包含其的可光聚合组合物,立体光刻方法和立体光刻树脂组合物
机译:磺酰基光致产酸剂和包含其的光刻胶
机译:用于光学模塑树脂组合物和立体光刻方法的新型芳族sulf化合物,包括与该光致产酸剂的光聚合组合物,以及未来的光聚合组合物
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