I-线正性光刻胶用成膜线性酚醛树脂的合成及性能影响

摘要

本文采用两步法合成了I-线光刻胶用的线性酚醛树脂,用正交实验确定了最佳工艺条件并讨论线性酚醛树脂性能影响。