首页> 中文期刊> 《电子工业专用设备》 >大角度离子注入机控制系统软件设计

大角度离子注入机控制系统软件设计

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点,通过优化软件结构和关键控制算法,成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计,测试证明软件自动化程度高、稳定、可靠.

著录项

来源
《电子工业专用设备》 |2009年第2期|19-23|共5页
作者
罗宏洋; 孙勇; 王玮琪;
展开▼
作者单位

中国电子科技集团公司电子第四十八研究所,湖南,长沙,410111;

中国电子科技集团公司电子第四十八研究所,湖南,长沙,410111;

中国电子科技集团公司电子第四十八研究所,湖南,长沙,410111;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类掺杂;
关键词
大角度离子注入机; 软件结构; SEMI自动化软件标准;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 大角度离子注入机控制系统软件设计 [J] . 伍三忠 ,吴学忠 . 微细加工技术 . 2008,第006期
2. 大角度离子注入机控制系统的研制 [J] . 伍三忠 ,孙勇 ,王迪平 . 微细加工技术 . 2006,第002期
3. 9产品名称：90—65nm大角度离子注入机 [J] . . 电子工业专用设备 . 2016,第2期
4. “90·65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目通过验收 [J] . . 电子技术与软件工程 . 2014,第005期
5. 大角度离子注入机的束纯度控制 [J] . 王迪平 ,孙勇 . 电子工业专用设备 . 2011,第001期
6. 大角度离子注入机质量分析器设计 [C] . 郭健辉 ,唐景庭 . 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 . 2005
7. 大角度离子注入机垂直扫描机构的设计 [A] . 胡代群 . 2007

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号