“90·65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目通过验收

摘要

2014年1月18，19同，由国家三部委（科技部、财政部、发改委）和北京市联合组织，02专项实施管理办公室牵头，对北京中科信公司承担的“90．65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目进行验收，来自装备、工艺、集成电路制造、财务等领域的国家层面的专家和各级领导40余人参加了项目验收工作。