单晶硅片KOH碱刻蚀工艺研究

摘要

在太阳能电池片生产工艺中,硅片的清洗和表面处理是重要的工艺步骤。KOH是太阳能行业中常见的一种刻蚀化学品,在硅片预清洗和扩散后背面处理方面有重要作用。在不同的条件下,KOH可以将硅片刻蚀成金字塔状或平整的塔基底座状等。通过研究各种条件下的硅片外观和电池片性能对比,可以找到合适的制程半成品控制要求。对实验过程中发现的黑点异常问题进行了研究对比,找到了导致异常的原因,提出了在电池片生产工艺中减少异常的措施。对目前新发展的添加剂碱刻蚀方式进行调试,摸索出适合金刚线切割单晶硅片扩散后背面处理的工艺参数。