高导电性ZAO陶瓷靶材及薄膜的制备

摘要

用热等静压法烧结制备了高导电性ZAO(铝掺杂氧化锌)陶瓷靶材,并用直流磁控溅射法制备出ZAO透明导电薄膜.靶材的致密度达98.7%,电阻率为2.2×10-3Ω·cm;制得薄膜的最低电阻率为9.3×10-4Ω·cm,可见光平均透射率大于85%.浅析了靶材的组织结构及靶材的电学、力学性能和薄膜制备的主要实验参数对其光、电性能的影响.