采用金属Mg和烧结MgO陶瓷靶材对PLD淀积MgO薄膜的结晶性的影响

摘要

本文研究了脉冲激光淀积MgO薄膜的过程中,采用金属Mg和烧结MgO陶瓷靶对薄膜结晶性的影响.研究发现,MgO薄膜的结晶性主要受控于衬底温度和激光能量密度.通过对比采用金属Mg靶和烧结陶瓷Mp靶对MgO薄膜结晶性的影响,发现通过添加一层TiN籽晶层可以显著改善薄膜的结晶质量,获得表面具有原子级平整度的MgO薄膜。