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付伍君; 孟祥钦; 朱博; 张遥; 刘浩瀚; 杨成韬;
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
AlN; ZnO薄膜; 溅射功率; 择优生长; 结构; 表面形貌;
机译:射频功率对射频磁控溅射沉积铝掺杂ZnO薄膜结构,形貌,电学,组成和光学性质的影响
机译:溅射功率和溅射压力影响RF溅射纳米ZnO薄膜的结构和光学性能
机译:溅射功率对射频溅射技术生长的ZnO薄膜结构和光学性能的影响
机译:射频功率对射频磁控溅射沉积超薄未掺杂ZnO薄膜的结构,光学和形貌特性的影响
机译:等离子体能量,等离子体功率,工作距离和惰性气体压力对溅射热弹性钛镍薄膜组成的影响。
机译:AlN中间层对大功率脉冲磁控溅射SiC薄膜结构和化学性能的影响
机译:溅射功率对射频磁控溅射制备ZnO薄膜结构和光学性质的影响
机译:表面形貌对厚膜溅射薄膜结构生长的影响
机译:氧化锌(ZnO)基单晶纳米结构,制备ZnO基薄膜和ZnO基单晶薄膜,ZnO基单晶薄膜和ZnO基材料包含ZnO薄膜的方法
机译:ZnO薄膜结构和ZnO薄膜晶体管的制造方法,ZnO薄膜结构和ZnO薄膜晶体管
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