光敏聚酰亚胺X射线光刻

摘要

光敏聚酰亚胺Ｘ射线光刻韩阶平，赵豪，胡一贯，阚娅（中科院微电子中心，合肥国家同步辐射实验室）光敏聚酰亚胺自问世以来就得到了人们的广泛重视，目前对光敏聚酷亚胺的光刻还大多只限于紫外光曝光的方式，还未见到有关光敏聚酰亚胺Ｘ射线光刻的报道。在本文中我们对合...