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刘卫丽; 多新中; 张苗; 沈勤我; 王连卫; 林成鲁;
中国科学院上海冶金所信息功能材料国家重点实验室;
绝缘体上; 多孔硅; 外延; SOI材料;
机译:评估嵌入式多孔硅层对外延层的整体寿命以及外延层/多孔硅界面处界面复合的影响
机译:使用新型多层多孔硅叠层的无外延薄硅箔无缝层转移,具有近100%的分离率和大的少数载流子扩散长度
机译:在硅衬底上的薄外延硅层上制备的多孔硅的结构和光学性质
机译:ELTRAN〜(〜R);通过多孔硅外延层转移实现SOI-Epi Wafer〜(TM)
机译:引入多孔硅作为牺牲材料,以在SOI晶片的衬底中获得空腔,以及用于MEMS器件的吸气材料
机译:原子层沉积制备的用于生物光子学的多孔硅-氧化锌纳米复合材料
机译:III / V半导体材料制备新技术的研究和开发以及评估这些材料质量的方法 - 项目:Ga(as,p)外延层及其基板
机译:带外延层的SOI退火多孔硅
机译:外延层的质量评估方法,SOI(绝缘体上的硅)层的质量评估方法和硅晶片的制造方法
机译:用于制造具有在硅晶片上的绝缘层和在其上外延施加的硅层的SOI结构的方法
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