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姜岩峰; 黄庆安;
北方工业大学信息工程学院微电子中心;
东南大学电子工程系微机电系统教育部重点实验室;
MEMS; 微机电系统; 微结构机械参数; 在线测量; 悬臂梁;
机译:可移动MEMS器件摩擦学特性测量方法的研究进展
机译:频率域中多层微结构层厚度的测量方法
机译:测量MEMS器件机械参数的电气测量方法
机译:用于应力测量的微机械传感器以及用于MEMS应用的自支撑薄膜的微机械研究。
机译:基于计算机视觉的车轮副几何参数在线测量方法和系统
机译:基于频域的MEMS多参数风传感器中薄膜膜片热参数的测量方法
机译:石英晶体等效电参数测量方法研究进展报告4
机译:微结构参数的材料刚度研究方法及其实现装置
机译:绝对和独立于机械和热参数的测量方法和装置,机械和热参数同时作用于光纤
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