LC-4型600keV高能离子注入机投入使用

摘要

＜正＞ 由长沙半导体工艺设备研究所研制的LC-4型600keV高能离子注入机,于今年八月在重庆光电技术研究所安装调试。这台机器设计合理,性能稳定,使用效率高,适用范围广,操作维修方便。目前机器工作正常,已为科研和生产服务。LC-4型高能机结构上采用先分析后加速、离子源和磁分析器处于高电位靶室接地类型,头部用隔离变压器供电,用光缆实现高压舱与控制室之间所有电控信号的联通。用微光电视观察束斑,实现远台操作。机器现配有室温靶室,八个靶位,自动换靶。尚留有四个离子通