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黎午升; 惠官宝; 崔承镇; 史大为; 郭建; 孙双; 薛建设;
京东方科技集团TFT-LCD技术研发中心,北京100176;
北京京东方光电科技有限公司,北京100176;
相移掩膜; 等间隔线; 模拟; 曝光容限; 解像力;
机译:相移掩膜偏振法:使用相移掩膜监测193 nm高数值孔径的偏振和浸没式光刻
机译:相移掩膜设计用于chi闪耀光栅的干扰曝光
机译:使用弹性相移掩膜生成和检测千兆赫表面声波
机译:两相移掩膜和三相移掩膜在印刷低占空比接触阵列图案化中的比较
机译:X射线掩膜在X射线曝光过程中的动态热应变现象研究
机译:双侧人工耳蜗使用者使用多个相邻掩膜电极进行双耳掩膜
机译:这项研究的背景是,在印度尼西亚航空高中Curug Tangerang的文凭III飞机工程学习计划(TPU学习计划)的学习飞机系统故障排除的学生中,无故障性能的表现很差。由于旨在提供学习经验的学习旨在采取正确的步骤对飞机系统进行故障排除而没有模块指导的故障,因此该学习受模拟器准备情况,学生准备情况和模块有效性的因素影响。初步研究表明,成绩不佳的原因是该模块无法指导学生正确无误地进行故障排除。这项研究的目的是确定学习疑难解答的当前状态,设计可以提高无故障性能的学习模块,制定学习步骤,进行无故障性能评估,并分析使用学习模块的影响。使用研究与开发方法论,通过初步研究,模块的计划和准备以及模块的开发和测试三个主要研究阶段,对11个批次III文凭III的56名学生进行了研究,直到发现有效地改善无故障性能的模块。更广泛的试验结果。通过与讲师的访谈,课程文件和模块的学习文件,对学生的问卷调查,学习结果测试和实际观察来进行数据收集。研究结果是一个有效的学习模块,可提高无限制性能,这是通过在有限且较宽的测试中通过统计计算t-计数t-t表显示的结果以及在每个试验阶段的平均值均得到提高而得出的。这一增加表明,新模块内容的开发将通过增加故障排除中子能力的实现,即识别损坏,确定损坏程度,消除损坏以及修理或更换零件,从而对提高无故障性能的实现产生重大而有效的影响。
机译:使用移动实验室原位曝光测量环境空气混合物的生物活性:紫露草植物测试系统的初步结果
机译:包含多层的光电掩膜空白层在每个层的界面上都有轻微倾斜的成分,使用光电掩膜的照相掩膜,相移掩膜空白,使用相移掩膜空白的相移掩膜及其制备方法
机译:半色调相移型光电掩膜,半色调相移型光电掩膜和图案曝光方法
机译:半色调相移照片掩膜半色调相移照片掩膜和图案曝光方法
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