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阚文星; 褚恩义; 刘卫; 任炜; 任小明;
陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室;
陕西西安710061;
微机电系统; 火工品; 微起爆系统; 安全保险装置;
机译:微反应场的产生与应用-微等离子体研究的现状与展望-.3。微等离子体的测量与分析
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机译:硅电容微传感器和静电微致动器的研究:朝着微机电系统(MEMS)迈进
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