电磁驱动型MEMS安全保险装置关键技术研究

摘要

MEMS(Micro Electronic Mechanical System)安全保险装置是用于保护"要害系统"安全性的器件.本文电磁驱动型MEMS安全保险装置由驱动器、鉴码机构和耦合器构成.通过轴向磁场微电机驱动鉴码机构实现密码的鉴别.利用MEMS技术的安全保险装置具有可靠性高、误解码率低、外型微小等特点.以准LIGA加工工艺形成光、光纤、光电多种耦合方式的MEMS安全保险装置,并且具有单次试开与多次试开形式.并阐述了其在信息安全上的应用.