ミクロ反応場の生成と応用－マイクロプラズマ研究の現状と将来展望－.3.マイクロプラズマの計測·解析

摘要

プラズマディスプレイパネル（PDP）はマイクロプラズマが実用化されている代表例である．しかし，PDPにおいても輝度と発光効率の改尊が最重要課題であり，数年のうちに現在の1 lm／W稲皮の効率を3～5倍に改着することが求められている．低効率の貴大の原因は，放電から蛍光体励起用の紫外線を得る過唯での電力効率であり，直径数cmの蛍光灯が1001m／Wの効率であることと此校すると，動作ガスがHgからXeに変わっていることだけでなく，数百μmへのダウンサイジングに伴う損失増が極めて大きい因子となっていることが推察される．すなわち，壁や電極表面はプラズマに対して損失境界として働き，本質的に表面対体横の剖合が大きくなるマイクロプラズマにとっては不利にならざるを得ない．しかし逆に，壁面で帯赦される電荷を有効に利用して効率を改善する方向が残されている．－　そのための1つの方式として，電極東面を誘褐体で被覆する誘電体バリヤ放電の方式が採用されている．