基于MEMS工艺的碳纳米管(碳纳米纤维)铜微异型触点

王裕超; 丁桂甫; 吴惠箐; 汪红; 姚锦元; 杨春生

首页> 中文期刊> 《电子器件》 >基于MEMS工艺的碳纳米管(碳纳米纤维)铜微异型触点

基于MEMS工艺的碳纳米管(碳纳米纤维)铜微异型触点

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

一类为保护MEMS微继电器、提高它们使用寿命,而设计生产的微异型触点.该类微异型触点利用MEMS工艺,对铜基碳纳米管及碳纳米纤维复合电镀层进行细微图形化加工而成.一系列测试表明,铜基碳纳米管及碳纳米纤维复合电镀层本身具有良好的电接触性能,而利用MEMS工艺表面细微图形化加工后的微异型触点,比未经图形化加工的复合电镀层及纯铜触点具有更好耐电弧磨损性能.

著录项

来源
《电子器件》 |2007年第5期|1542-1546|共5页
作者
王裕超; 丁桂甫; 吴惠箐; 汪红; 姚锦元; 杨春生;
展开▼
作者单位

上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200030;

上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200030;

上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200030;

上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200030;

上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200030;

上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200030;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TM503.5;
关键词
电接触; 异型触点; MEMS; 碳纳米管; 碳纳米纤维;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于MEMS工艺的碳纳米管(碳纳米纤维)铜微异型触点 [J] . 王裕超 ,丁桂甫 ,吴惠箐 . 多媒体世界 . 2007,第011期
2. 基于MEMS工艺微气体传感器结构与工艺设计 [J] . 张子立 ,殷晨波 ,朱斌 . 南京工业大学学报（自然科学版） . 2012,第003期
3. 基于MEMS工艺的微起爆器性能研究 [J] . 薛艳 ,刘卫 ,解瑞珍 . 火工品 . 2020,第001期
4. 基于MEMS技术硅微悬臂梁制作工艺研究 [J] . 梁明富 ,赵翔 . 新技术新工艺 . 2009,第004期
5. 基于MEMS技术硅微悬臂梁制作工艺研究 [J] . 赵翔 ,梁明富 . 南京工业职业技术学院学报 . 2008,第004期
6. 基于MEMS工艺的磁芯微电感的有限元模拟研究 [C] . Tan Zhijie ,谈志杰 ,Shen Jiaoyan . 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议 . 2012
7. 碳纤维表面生长碳纳米管/碳纳米纤维工艺优化及性能表征 [A] . 陈纪强 . 2016

基于MEMS工艺的碳纳米管(碳纳米纤维)铜微异型触点

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅