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基于MEMS技术硅微悬臂梁制作工艺研究

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摘要

针对非制冷红外热成像中的双材料硅微悬臂梁阵列的结构要求,在MEMS常见加工工艺的基础上,提出了单个硅微悬臂梁的制作工艺路线.工艺中使用高浓度HF溶液释放牺牲层磷硅玻璃(PSG).探讨了双层材料氮化硅和铝之间的断裂及氮化硅和硅基底之间的粘连问题,对工艺中影响成品率的关键因素残余应力进行了分析.

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来源
《新技术新工艺》 |2009年第4期|27-30|共4页
作者
梁明富; 赵翔;
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作者单位

扬州市职业大学,江苏,扬州,225009;

扬州市职业大学,江苏,扬州,225009;

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正文语种 chi
中图分类金属学与金属工艺;
关键词
MEMS; 微悬臂梁; 牺牲层释放; 磷硅玻璃;

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